裏面照射型イメージ・センサのファウンドリを確立,TowerとSoitecが提携
仏Soitec SAとイスラエルTower Semiconductor Ltd.,Towerの子会社の米Jazz Technologies, Inc.は,裏面照射(backside illumination)型CMOSイメージ・センサのファウンドリ・サービスの実現に向けて提携した(Soitecの発表資料)。SoitecのSOIウエーハや関連プロセス技術を使って,TowerやJazzのCMOSラインに最適化させたカスタム・プロセスを開発する。Towerグループが裏面照射型CMOSイメージ・センサのファウンドリ・サービスのターゲットとしているのは,主に産業や医療,自動車向けといった高価な分野であるとする。
両社の発表によると,裏面照射型CMOSイメージ・センサのファウンドリ・サービスを立ち上げる企業は,Towerグループが業界で初めてである。これによって,ファブレス半導体メーカーによる参入障壁を下げ,裏面照射型CMOSイメージ・センサの応用範囲を,現在の民生用カメラや携帯電話機から,映画撮影,航空宇宙,高機能医療などの用途への拡大を促進するという。
両社は,SoitecのSOIウエーハや関連プロセス技術をベースに,裏面照射型CMOSイメージ・センサの製造プロセスを開発する。これによって,Towerグループの顧客企業は,裏面照射型CMOSイメージ・センサを迅速に実用化できるとする。量産時には,SoitecのSOIウエーハを使い,関連技術のライセンス供与を受けることになると見られる。
両社が売りとするのは,Soitecが開発済みの3次元積層技術を活用できることである。SOIウエーハは,Siウエーハに比べて価格が数倍と高いが,裏面照射型CMOSイメージ・センサでは,基板の薄化プロセスで有利なほか,高画質を実現しやすいために採用が進んでいる。
Soitecは,仏CEA-LETI(フランス原子力庁 電子・情報技術研究所)との間で,CEA-LETIの200mm,300mmウエーハ対応ラインを使って開発したプロセスを,デバイス・メーカーの量産ラインにプロセスを移植するサービスも行っている(Tech-On !関連記事1)。開発済みのSi貫通ビア形成技術,3次元積層技術を活用するもので,採用例に伊仏STMicroelectronics社の裏面照射型CMOSイメージ・センサ(Tech-On !関連記事2)があるとする。













