JFEテクノリサーチ(本社東京)は,シリコンウエハ/ガラス/樹脂フィルム/金属などの表面の薄膜の厚さの2次元的な分布を,短時間に精度良く測定・表示する膜厚分布測定装置「FiDiCa」の販売を開始した。同装置は,A4サイズの測定対象を1024×1536画素(0.2mmメッシュ)の解像度で約10分かけて測定・表示する高精度タイプと,3mmメッシュを約15秒で測定する高速タイプがある。これまで「点」で評価せざるを得なかった膜厚が「面」として観察できる特徴を生かして,商品開発やプロセス開発,生産管理,品質保証などの広い分野に売り込む。
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