アドバンテスト，テラヘルツ電磁波で対象物の内部を可視化する装置を開発
2009/09/17 17:00
図1◎テラヘルツ電磁波を使って対象物の内部を可視化する「テラヘルツ・3Dイメージング・システム」。
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図2◎ポリエチレン製の円柱に，測定試薬としてアミノ酸と糖を充てんした測定サンプル。
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アドバンテストは，テラヘルツ電磁波技術を使い，測定対象物の内部にある物質を可視化・解析する装置「テラヘルツ・3Dイメージング・システム」を開発した（図1，2）。対象物を非破壊で3次元画像化して，内部の物質の種類や分布，質量などを解析する。
テラヘルツ電磁波は，周波数が数十G〜100THzの電磁波。物質透過性と物質固有の指紋スペクトル（吸収スペクトル）を得られる。適度な空間分解能を持つため，実用的なイメージング解析に適するという。しかし，これまでテラヘルツ電磁波の発生・検波技術，測定方式などの基本技術が未熟であったため，応用が難しかった。
同社は今回，名古屋大学教授の川瀬晃道氏と共同開発したテラヘルツ電磁波によるイメージング技術と，同社の超短フェムト秒パルス光ファイバレーザを利用することで，新装置の開発に成功した。
新装置は，0.02T〜3THzのテラヘルツ電磁波を高速に透過・反射させて測定することで，被測定物内部の特定成分を3次元画像化。そのデータを基に，成分の分布や構造的な欠陥などを解析する。これにより，マイクロ波や赤外線，X線，超音波などでは難しかった解析が可能となる。医薬品の結晶形やバイオ関連物質の分析などへの応用も可能という。電磁波帯については，オプションで7THzまで拡張できる。
装置内のテラヘルツ電磁波発生モジュールと検波モジュールを20チャンネルまで増設できる。これにより，テラヘルツ電磁波における複数同時測定が可能で，量産ラインなどの検査にも使用できる。測定対象物の形状や配置に応じて発生・検波モジュールの固定位置を変えられる。
連絡先：アドバンテスト 新企画商品開発室 TASpj
電話：022-392-8730
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