パナソニックは,応答性を向上させたACサーボモータ「MINAS-A5」シリーズを開発した(図)。応答周波数を2kHzと従来の1kHzから2倍に高めた。半導体や液晶の製造に使うボンダやプローバ,電子部品の実装機などに組み込むと,可動部が素早く始動し,かつ停止する。振動を低減する工夫も盛り込み,製造装置のタクトタイム短縮に貢献する。
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