富士通マイクロらが65nmチップで効果を実証，EB直描向けLSI設計環境
米D2S, Inc.，イー・シャトル，富士通マイクロエレクトロニクスの3社は共同で，電子ビーム（EB）直描向けLSI設計環境「design for e-beam（DFEB）」の効果を，65nm世代のSoC（system on a chip）で実証した（リリースのpdf，Tech-On!関連記事1）。チップの動作速度や面積，消費電力を犠牲にすることなく，EB直描のショット数を従来に比べて1/10以下に削減できた。
DFEBは，EB直描における部分一括露光（character projection）の比率を高めてショット数を減らし，スループットを向上させるための設計環境である。今回の成果は，DFEBを活用したEB直描による最初のチップ試作結果となる。「DFEBがLSI試作の手段となりうることを示した，重要なマイルストーン」（3社が参画するDFEBの推進団体であるeBeam Initiative，Tech-On!関連記事2）とする。チップの設計をD2Sと富士通マイクロが担当し，製造をイー・シャトルが担当した。試作にはこのほかのeBeam Initiativeのメンバー企業も寄与している。チップ設計に米Fastrack Design, Inc.と米Magma Design Automation, Inc.が協力したほか，ステンシルマスクの作成にはアドバンテストが協力した。
今回の成果については，アドバンテスト，D2S，イー・シャトル，富士通マイクロの4社による共著論文を，2009年5月26〜29日に米国フロリダ州で開催される「53rd International Conference on Electron，Ion，and Photon Beam Technology and Nanofabrication（EIPBN）」でイー・シャトルが発表する。同論文は5月29日以降にeBeam Initiativeのウェブサイトで入手できる。
