日立製作所は,厚さ数nmと薄いSi層で発光素子を試作し,光の増幅現象を確認した(発表資料)。厚さ4.4nmのSi層に電流を流して発した光を素子内に閉じ込めることで,その光を増幅させた。これまで,Siのナノ粒子では光学的な利得が発生することは確認されてきたが,電流を注入しやすいnmオーダーのSi薄膜では,光学的な利得については未確認だったという。今回の成果は,自発光方のSi製半導体レーザの実現に向けた基礎的な成果と位置付ける。
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