「2008 IEDM」では,CMOS性能向上技術であるIII-V族半導体チャネルMOS FETに関する発表が相次ぎ,高い注目を集めた。CMOS応用を念頭においたIII-V族チャネルFETの論文数は,実験結果に関するものが10件,モデリングや理論計算に関するものが4件となり,前回に比べて大幅に増加した。さらに今回は,「III-V MOSFETs with High K Dielectrics」と題するセッション(Session15)が新たに設けられ,高誘電率(high-k)ゲート絶縁膜/メタル・ゲートを使うIII-V族MOS FETに関する6件の論文が集中的に発表されるなど,この分野が大きく“ブレーク”しつつあることを印象づけた。
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