【セミコン・ジャパン】アイエイアイ，ワークの振動を抑える搬送用ロボット
2008/12/04 18:17
アイエイアイ（本社静岡県清水市）は搬送中のワークの振動を抑え，搬送終了後振動が収まるまでの時間を短縮できるアクチュエータの制御方法を開発，搬送用単軸ロボットの形で「セミコン・ジャパン2008」（12月3日〜5日，幕張メッセ）に出展した。薄い板金の先に金属の重りが付いたもの（長さ10mm程度）をワークに用いて実演。ロボット全体は1m角程度のケースに収まる大きさ。通常の制御では，振動が収まるまでに8秒程度かかるワークについて，新ユニットの制御方式では3秒弱で抑えられる様子を示した。次工程を開始するまでの待ち時間の短縮が期待できる。
ワークの固有振動数に応じて，振動を検知し逆位相で同じ振動数の振動を与えることで，搬送中の振動を抑える。対応可能な振動数は0.5〜30Hz。早ければ，2009年半ばの製品化を目指す。同社のコントローラ「XSEL-P/Q」「SCON」に搭載を予定している。
用途は半導体関連のほか，液体のワークを扱う食品関連なども考えられる。液面を極力波立たせないで搬送するのに利用できる。
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