【セミコン・プレビュー】テムテック研究所，微小なガス漏れを検出できる気密計を発売
2008/12/01 19:30
図◎マイコンによる演算処理で微小なガス漏れも検知できる「ATM-300」。
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テムテック研究所（本社東京）は，ガス配管内の微少な漏洩（ろうえい）を検出できる気密計「ATM-300」を発売した（図）。価格は60万円。半導体製造現場での安全性の向上を図れる。
半導体製造工程の前工程では，低濃度でも人体に影響が出るシランやアルシンなど，毒性のあるガスを使用するため，配管時の気密漏洩検査が欠かせない。従来は，圧力変化を見ることで漏れの有無を調べていたが，密閉した容器や配管中の気体は周囲温度の変化により膨張・収縮を繰り返すため，微少な漏れを検出するのが難しかった。
それに対して新製品は，気体の温度による圧力変化を検出してマイコンによって自動で演算処理し，補正された圧力を表示する。このため，従来方法では検出できなかった微少な漏れも検出できるという。記録したデータについては，USB経由でパソコンに転送して出力できる。
なお，同社は2008年12月3〜5日開催の「セミコン・ジャパン 2008」（幕張メッセ）に出展する予定。
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