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画素ピッチが25μmのMEMS赤外線センサー

加藤 伸一=日経マイクロデバイス
2008/11/27 18:18
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 MEMS赤外線センサー・メーカーの仏Ulis社は,画素ピッチを25μmに狭くした「UL03162」を発売する。解像度は384×288画素。冷却機構を不要とした。同社によると,この他,A-D変換器を内蔵したことによってモジュールの部品点数を削減し,赤外線カメラの開発費用の低減に寄与する。

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