【セミコン・プレビュー】コグネックス，ウエハーIDリーダーの画質を改善するソフトを発表
2008/11/27 18:05
図◎フィルタを通すことで，劣化したIDも確実に読み取れるようになる。
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コグネックス（本社東京）は，マシンビジョン・システム「In-Sight」のウエハーIDリーダー「同1720」シリーズ向けに，画像最適化機能を強化するソフトの新版（リリース4.2.1）を発表した。同社はこのソフトを ，2008年12月3〜5日開催の「セミコンジャパン2008」（幕張メッセ）出展するとともに，2009年1月9日から販売する予定だ。
同ソフトには新機能として，（1）画像フィルタリング機能（2）実行時チューニング機能----を搭載した。（1）は，EBR（Edge Bead Removal）やCMP（Chemical Mechanical Polishing）といったウエハー製造工程で生じるIDマークの劣化を，フィルタで最小化または除去するものだ（図）。これにより，読み取りにくいIDマークの画質を改善できるので，誤認識の発生を減らせる。
（2）は，実行時に読み取り方法を自動で調整する機能。IDマークの画像の外観がロットごとに異なる場合に，オペレータが操作しなくても照明を最適に設定する。
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