【FPDI】第10世代対応の装置・部材が目白押し
「FPD International 2008」では，第10世代対応の液晶製造装置や部品・材料の出展が相次いでいる。開催前日の10月28日にエーケーティー（AKT）が第10世代対応プラズマCVD装置と電子ビーム・テスターを発表したのに続き（Tech-On！関連記事），10月29日から開催されているFPD Internationalの展示会では第10世代対応の装置・部材の展示が目白押しとなった。
第10世代対応をうたっている装置メーカーは，東京エレクトロン，大日本スクリーン製造，東レエンジニアリング，東京応化工業，日立ハイテクノロジーズ，ナカンなどである。また，露光装置向けのフォトマスク関連でクリーンサアフェイス技術，オハラ・クオーツ，日鉱金属などが第10世代対応をアピールしている。
第10世代対応を展示で明示していた装置は，東京エレクトロンの塗布・現像装置とドライ・エッチャ（図1），大日本スクリーンのウエット処理装置（図2）と塗布・現像装置（図3），東レエンジニアリングのスリット・ノズル・コーター（図4）とタイトラ（図5）および全面膜厚測定装置（図6），東京応化工業のフローティング・コーター（図7），日立ハイテクのウエット処理装置（図8）とカラー・フィルタ向け露光装置（図9）およびガラス基板検査装置（図10），ナカンの配向膜印刷装置（図11）である。
露光装置用の関連部材としては，オハラ・クオーツのフォトマスク用石英部材（図12），クリーンサアフェイス技術のマスク・ブランクス（図13），日鉱金属のスパッタリング・ターゲット材（図14）などがある。
第10世代ラインの導入を決めている液晶パネル・メーカーは，現状ではまだ1社だけである。このため，対応する装置メーカーの説明員も，ガラス基板の寸法をはじめとして装置性能に関する具体的な内容に踏み込むことは避けている。
先述の装置メーカー以外で，第10世代とは明言しないが，「次世代の大型基板には対応する」としたのは芝浦メカトロニクスやアルバックである。
