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HOMEエレクトロニクス電子設計 > 「製造と設計の両方で効果あり」,富士通研がCMPシミュレータの意義と適用例を発表

「製造と設計の両方で効果あり」,富士通研がCMPシミュレータの意義と適用例を発表

  • EDA Online特派員
  • 2008/09/03 20:33
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富士通研究所と富士通マイクロエレクトロニクスは,LSI製造工程の一つであるCMP(chemical mechanical planarization)を模擬するシミュレータの意義や,富士通マイクロにおける適用事例に関して講演した。この講演は,8月26日と27日に静岡県で情報処理学会が開催の「DAシンポジウム 2008」(講演番号:セッション7B 招待講演2)で行なわれた。

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