東芝はクリーン・ルームで循環させる清浄空気の風量を減らすことで半導体工場の省エネルギー化を図る技術を,同社大分工場の300mmウエハー対応ラインに導入する。現在,技術的な検討を進めており,2008年度上期にも導入したい考え。今回の技術に関して2008年3月6日に開かれた同社主催の「第17回 東芝グループ環境展」で紹介した。

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