約250mm×約500mmのターゲットを六つ並べて展示
約250mm×約500mmのターゲットを六つ並べて展示
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　東ソーは，太陽電池やFPD向けの透明電極用Al添加ZnOターゲットを，「FPD International 2007」で展示した。Al添加ZnOはITOに比べて安価だが，耐熱性や耐湿性などが劣っていた。今回東ソーは，「詳細は明かせないが，独自技術で両者をITO並みに改善した」（説明員）。

　長波長の光の透過率がITOよりも高いため，太陽電池の変換効率を高めるのに効果がある。ただし，抵抗率がITOよりも2.5～3倍高い点が課題である。展示したターゲットの寸法は約250mm×約500mm。これよりも大きいターゲットの製造も可能とした。

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