ロームは,発光波長を350nmと短くしたZnOを使う紫外LEDを試作した。今までのZnOを使う紫外LEDの発光波長は380nmだった。
今回,発光層のZnOにMgをドープすることで発光波長を短くした。具体的にはZn50%,O50%のZnOに,Znの10%分のMgをドープした。ZnO全体で5%に相当する。
課題は光出力が小さいことや順方向電圧が高いこと。20mA駆動時で光出力は1μW程度。目標は1mWに高めることである。順方向電圧に関しては,20mA駆動時で7~8Vの順方向電圧を5V台にしたいという。
会場では,ZnOにドープするMgの割合を高めて短波長化を図った結果も展示している。Zn成分の20%,ZnO全体で10%相当のMgをドープした。ZnO層に励起光を入射し,フォトルミネッセンスを観測した結果,336nmの光を確認できたという。