オムロンは,世界最小という外形寸法1.2mm×1.3mm×0.4mmのSi製MEMSマイクロフォン・チップを開発,サンプルを発売した。既存のエレクレット・コンデンサ・マイクロフォン(ECM)に比べ熱に強い。同社は,このMEMSマイクを使用した試作モジュールで評価試験を行い,-40dBVレベル(1Pa,1kHz時)の感度を確認したとしている。周波数範囲は100Hz~10kHz。
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