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「小回りが利くようにしました」,米BrionとTOOLの統合EDA環境の意味

2007/02/16 21:02
小島 郁太郎=日経マイクロデバイス
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左が滝川忠広氏,右が本垰秀昭氏 日経マイクロデバイスが撮影。
左が滝川忠広氏,右が本垰秀昭氏 日経マイクロデバイスが撮影。
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統合の効果 左が統合前,右が統合後 TOOLとブライオンのデータ。
統合の効果 左が統合前,右が統合後 TOOLとブライオンのデータ。
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 国内EDAベンダーのTOOLのマスク・レイアウト・ビューワ「LAVIS」と,米国EDAベンダーのBrion Technologies, Inc.のマスク・レベルDFMツール「Tachyon」を,両社が協力して統合できるようにした(Tech-On!関連記事)。この統合の意味,すなわち,統合された環境で新たにできるようになったことを両社に聞いた。

 今回のインタビューでは,Brionの日本法人「ブライオンテクノロジーズ」の滝川忠広氏(会長)とTOOLの本垰秀昭氏(社長)に話を聞いた。統合対象のBrionのツールであるTachyonは,マスク・レイアウトのOPC化やOPC化したマスク・レイアウトの検証などを実行する。滝川氏によれば,Tachyonの世界売り上げのうち,日本市場が占める比率は50%を超えるという。専用のコンピュータをベースにした製品で,大規模なデータでも高速に処理できることがウリモノである。

 ただし,基本的にはバッチ的な処理を指向した製品で,チップ全体の処理に焦点を合わせており,使うユーザーも専門知識をもったエンジニアを想定している。一方,TOOLの「LAVIS」は多数のユーザーが手軽にマスク・レイアウトを見ることを主眼に開発されている。最近は単に見るだけではなく,簡単な編集作業も可能になった。両ツールの相乗効果を狙ったのが今回の統合環境である。

 両氏によれば,例えば,次のような利用フローを想定している。まず専門家がTachyonを稼働させて,詳細な検討が必要な,いわゆるホット・スポットを割り出す。このホット・スポットにどのような対応策を施すかはLAVISを使って検討する。LAVIS上でホット・スポットのマスク・レイアウトやパラメータを変更し,LAVISがその部分の露光シミュレーションに必要なデータをTachyonへ投げる。ホット・スポットを対象にした露光シミュレーションはLAVIS中でセット・アップできるため,Tachyonの専門家が関わる必要はない。

 この部分的なシミュレーションの際にLAVIS中でレイアウトなどを変更しても,原データには影響がないようにできる。これにより,様々な案を検討できるという。対応策が決まれば原データを修正し,チップ全体をTachyonで直接検証する。なお,65nm世代や45nm世代で数10μmの範囲をLAVIS経由でシミュレーションした場合,数秒以内に結果をLAVIS中に表示できる。また,専門家がTachyonを使ってフルチップでシミュレーションした場合,処理時間は4時間程度だという。

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