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「2011年にシェア50%」,ニューフレアがマスク欠陥検査装置でKLAの牙城に挑む

木村 雅秀=日経マイクロデバイス
2006/06/23 17:02
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 東芝機械と東芝の合弁でマスク描画装置などを手がけるニューフレアテクノロジーは,マスク欠陥検査装置事業に本格参入すると発表した。第1弾として,高スループット化を図った45nmノード(hp65)対応のマスク欠陥検査装置「NPI-5000(仮称)」の受注を6月22日から開始する。2006年度中に開発・製造拠点を横浜地区に整備し,2007年度には初号機を出荷する。装置価格は20数億円とする。現在,マスク欠陥検査装置市場では米KLA-Tencor Corp.が高いシェアを握っているが,ニューフレアテクノロジーは今回投入する装置やその後の技術開発によって「2011年にシェア50%を目指す」(同社 代表取締役社長の井入正博氏)としている。

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