フレキシブルな電子ペーパーを凸版印刷が開発，酸化物半導体のTFTで駆動【訂正あり】

2006/03/31 11:24

小谷卓也＝日経エレクトロニクス

上段左がアモルファス酸化物半導体によるTFT，上段右が電子ペーパーの試作品，下段はその拡大写真

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　凸版印刷は，2インチ型のフレキシブルな電子ペーパーを開発した（ニュース・リリース）。プラスチック基板上に形成したアモルファス酸化物半導体のTFTによって，米E Ink Corp.が開発する電気泳動型の電子ペーパーを駆動させたものである。画素数は80×60。

　アモルファス酸化物半導体（材料はInGaZnO）は，2004年秋に東京工業大学の細野秀雄教授のグループが開発した。この材料を用いたTFTを室温で形成できることに凸版印刷が着目した。従来のアモルファスSi TFTの形成には，＋250℃前後の高温プロセスが必要であるため，熱による伸縮が懸念されるプラスチック基板上に形成するのは難しかった。

　プラスチック基板には，PEN（ポリエチレンナフタレート）を用いた。PEN基板上に形成したTFTの特性は，移動度が5cm²/Vs，オン・オフ比は10⁵以上という。TFTはスパッタリングで形成した。

　凸版印刷は，2008年度に実用レベル試作品の開発を目指す。今回の内容は，2005年12月に開催された「IDW/AD’05」で発表したものである（Tech−On！関連記事）。

当初の記事では凸版印刷の発表に基づきTFTのオン・オフ比を105以上としておりましたが，凸版印刷より発表資料に間違いがあったとの連絡がありました。正しくは10⁵です。