【セミコン・プレビュー】日本精工，真空クリーン環境向けに高清浄度軸受を開発----アウトガスは1/5に，耐久性は5倍に
2005/12/06 16:33
[クリックすると拡大した画像が開きます]
日本精工は，半導体ウエハ搬送ロボット向けの軸受「真空クリーン環境用高清浄度軸受」を開発，アンギュラ玉軸受と4点接触玉軸受，ラジアル玉軸受の3種類を2006年4月に発売する。同社は2004年，従来製品よりアウトガスと発塵が少なく，潤滑油の耐久性が高い軸受「真空クリーン環境用Nシリーズ薄肉軸受」を発売していたが，今回はさらにアウトガスを抑制し，耐久性も高めた。
アウトガスの発生原因としてはまず，有機溶剤による洗浄では落としきれない軸受表面の残留油分や，パッケージに残った滑材など有機物が挙げられる。さらに，潤滑剤からのアウトガスもある。
そこで新製品では，（1）溶解力の強い超純水による精密な洗浄 （2）新たなパッケージの開発 （3）ボール軌道面に低蒸気圧の炭化水素油焼き付け膜を処理する「E-DFO」の採用----といった対策を取った。この結果，軸受に付着する残留有機物は従来の約1/5になり，それに伴ってアウトガスは1/5に，耐久性は5倍になった。
同社はこの軸受を，2005年12月7〜9日に開催する「セミコンジャパン2005」（千葉・幕張メッセ）に出展する。
イプロスの製品トピックス
