【マイクロマシン展】3軸加速度センサーのウエーハ・レベル・テスター相次ぐ

2005/11/15 23:34

三宅常之＝日経マイクロデバイス

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　東京エレクトロンは，3軸加速度センサーの良否や特性をウエーハ段階で試験できるテスターを2006年3月に発売する。マイクロマシン展にパネル展示した。マイクロマシン展には，丸紅ソリューションも今年の夏から発売している同種のテスターを展示している。

　東京エレクトロンと丸紅ソリューションのテスターは，いずれもセンサー部をダイシングして個片化する前の段階で良否チェックできるようにしている。不良品をパッケージングするコストを省ける。センサー部を実装した150mmまたは200mmのウエーハに対して，装置内で振動を与えて，素子ごとにプロービングして電気的特性を調べる。重りの動きによる梁の歪みをピエゾ抵抗から検出するデバイス，重りの動きを静電容量変化として検出するデバイスのいずれにも使える。

　両社の基本原理は同じであるが，それぞれ振動の与え方やプロービングの仕方などに特徴を持たせている。マイクロマシン展では，今回の装置以外にもMEMSデバイスの量産に向けた設計・製造インフラの装置が相次いで登場しており，その詳細は『NIKKEI MICRODEVICES』12月号で紹介する予定である。