日本電子，簡単に移動ができる可搬式SEMを発売
2005/01/05 20:10
簡単に移動ができる可搬式の走査電子顕微鏡
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日本電子は，簡単に移動ができる可搬式走査電子顕微鏡（SEM）「キャリースコープJCM-5100」を発売した。観察条件の設定を極力簡易化することにより，光学顕微鏡並みの手軽さで，SEMの深い被写界深度と高分解能データを取得することを可能にした。また小型軽量化により装置を簡単に移動できると共に，装置稼動に必要な設備が100Vコンセントのみという手軽さを実現した。本体標準価格は850万円。
従来のSEMが必要とした細かい設定（加速電圧・絞り調整）などを簡易化。サンプル装填後およそ1分の真空排気後に，細かい設定不要で立体感のある高分解観察画面が得られる。
装置の移動により変化する設置環境に耐性を持たせるため，従来の高性能SEMと同様の除振対策を標準で組み込んだ。また，装置の高性能を維持するためには，レンズメンテナンスが重要だが，レンズメンテナンスは2年に1度程度でも問題なく使用できる。消耗品の電子銃フィラメントも低価格に抑え，低ランニングコストを実現した。
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