薄膜PZTの特性を高めるための分極装置（写真：ローム）
薄膜PZTの特性を高めるための分極装置（写真：ローム）
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　ロームは、高感度センサーの低コスト化に向く半導体製造技術を確立し、その製造受託サービスに乗り出した。この技術は、圧電材料のPZTをSi上に薄膜として形成するもの。高速で低消費電力のアクチュエーターの製造にも使える。同社は、IC製造とMEMS加工の技術を併せて提供し、圧電MEMSファウンドリーとして製造を受託する狙いである。