微細パターンを彫り込んだ判型を基板などにスタンプのように押すことでそのパターンを転写する技術「ナノインプリント」の実用化例が増えている。大面積の判型を低コストで作製する技術の開発が進んだことが背景にある。さまざまな新用途での実用化が始まり、半導体の微細加工への適用も視野に入りつつある。

最近開発された大面積モールド(a、b)と、大面積モールドで作製された加工ガラス板(c)。(写真:(c)はSCIVAX)
最近開発された大面積モールド(a、b)と、大面積モールドで作製された加工ガラス板(c)。(写真:(c)はSCIVAX)
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