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半導体製造 プロセス技術や工場の動向を知るための
 

検査・解析技術総覧

2013/05/07 00:00
出典:日経マイクロデバイス、2007年5月号~11月号 、 (記事は執筆時の情報に基づいており、現在では異なる場合があります)

 LSIの性能向上に向けて,検査・解析技術の重要性が高まっている。ひずみSiや低誘電率(low-k)膜,高誘電率(high-k)膜,メタル・ゲートといった新たな材料や構造が本格的に導入されるためである。さらに,プロセスの要であるリソグラフィ技術も液浸露光へと変化する。65~45nmで新たに必要となる検査・解析技術とはどのようなものか。連載で明らかにする。

Contents

【技術者塾】(2/29開催)
玩具や白物家電など日常製品から新たな電子化を読む

〜分解・分析からの未来展望シリーズ 「電子玩具」〜


「未来展望」シリーズの「電子玩具」編。玩具や白物家電など日常製品に見られる大きな電子化の変化を電子部品の立場から解説。クルマや時計などの市場を明示した上で、付加価値を高めるために一層強化すべき方向性を未来予測として提示します。 詳細は、こちら
日程 : 2016年2月29日
会場 : Learning Square新橋
主催 : 日経エレクトロニクス
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