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プロセス製造技術総覧

この連載は,プロセス装置技術の理解を深めることが目的となる。教科書との大きな違いは,技術候補を単に羅列するだけではなく,本命技術を浮き彫りにすることにある。第2回以降,LSIに大きな影響を与えるプロセス装置技術について,各分野の専門家がその重要性と将来像を解説する。

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