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HOMEエレクトロニクス電子デバイス製造現場が分かる半導体入門 > 半導体工場について

製造現場が分かる半導体入門

半導体工場について

  • 吉村 克信=科学技術交流財団 東海広域知的クラスター創成事業本部 科学技術コーディネータ
  • 2009/04/10 00:00
  • 1/1ページ
ここでは半導体工場について説明しましょう。半導体の製造に適した場所の条件としては,まず(a)良質で多量の水が確保できる,(b)製造のための安定した電力供給ができる,(c)物流条件が整っている,ことが重要です。また,半導体はナノメートル(1nm=1/10億メートル)レベルの管理が必要になりますから,振動が少ないことも重要な条件です。特にリソグラフィ工程は振動の影響を強く受けるため,露光装置はクリーン・ルーム(半導体を製造するライン)の中でも振動の最も少ないところに設置することが必要です。
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