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半導体製造 プロセス技術や工場の動向を知るための
 
吉村 克信=科学技術交流財団 東海広域知的クラスター創成事業本部 科学技術コーディネータ
2009/04/10 00:00
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出典:日経マイクロデバイス特別編集版「半導体・FPD産業からのメッセージ2009」、2008年11月 、pp.35-36 (記事は執筆時の情報に基づいており、現在では異なる場合があります)
ここでは半導体工場について説明しましょう。半導体の製造に適した場所の条件としては,まず(a)良質で多量の水が確保できる,(b)製造のための安定した電力供給ができる,(c)物流条件が整っている,ことが重要です。また,半導体はナノメートル(1nm=1/10億メートル)レベルの管理が必要になりますから,振動が少ないことも重要な条件です。特にリソグラフィ工程は振動の影響を強く受けるため,露光装置はクリーン・ルーム(半導体を製造するライン)の中でも振動の最も少ないところに設置することが必要です。

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