半導体製造 プロセス技術や工場の動向を知るための
 

製造現場が分かる半導体入門

2009/04/01 00:00
出典:日経マイクロデバイス特別編集版「半導体・FPD産業からのメッセージ2009」、2008年11月 、pp.19-43 (記事は執筆時の情報に基づいており、現在では異なる場合があります)
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 半導体というと,たいていの本では,「SiウエーハにP(リン)やAs,Bなどを導入してトランジスタを作って・・・」というような説明が多いと思いますが,読者の方に最低限知っておいていただきたいのは,「ある決まった条件を満足すれば電気が流れるが,それ以外の時には電気が流れない,つまり半分,導体である。読んで字のごとしである」ということです。このことを頭において,さらにレベルの高い本を読んでいただければ理解しやすいと思います。

目次

著者略歴(肩書は2009年4月1日時点のものです)

吉村 克信
科学技術交流財団 東海広域知的クラスター創成事業本部 科学技術コーディネータ
1979年 名古屋大学工学部電子工学科卒業,同年NEC入社。16K~256M DRAMの開発・生産技術・量産技術・検査分析技術などに携わる。特許管理責任者,コンプライアンス・プログラム技術判定責任者を歴任。光技術を半導体業界に初めて導入,インライン・モニターリングのコンセプトに基づく完全自動化特性評価システムおよびウエーハSEMの開発などを行う。2005年から北九州産業学術推進機構にて産学連携活動に従事し,2009年2月より現職。ESSDERC TPCメンバー(Characterisation & Reliability),IEEE会員(Electron Device Society, Reliability Society),日本英語交流連盟会員(英語ボランティア)。

参考文献
(1)西澤潤一 監修,『半導体用語大辞典』,日刊工業新聞社刊
(2)菊地正典・高山洋一郎 著,『半導体用語がわかる辞典』,日本実業出版社刊
(3)菊地正典 著,『やさしくわかる半導体』,日本実業出版社刊
(4)菊地正典 監修,『図解でわかる半導体とシステムLSI』,日本実業出版社刊

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