フォトニック電界センサについての第2回は，具体的な応用例に触れる。(1)LSIの内部ノードの測定システム，(2)各種のプリント配線基板の測定システム，(3)人体などを伝送媒体にした通信システム，の開発と測定結果の例を紹介する。 （野澤 哲生＝本誌）


品川　満
NTT マイクロシステムインテグレーション研究所
スマートデバイス研究部　特別研究員

　端末の小型化や高機能化，基幹通信回線の高速大容量化が進むことで，電子回路の動作の高速化や高集積化への需要も増す一方となっている。開発現場の最前線では，測定したい新しい素子の性能が，計測器の性能と同等かむしろ上回ることがしばしば起こる。エレクトロニクスの各種素子の高性能化に対応するためには，被測定デバイスの性能を大きく超えた評価・計測技術が不可欠である。この課題を解決するために，NTT マイクロシステムインテグレーション研究所は，非接触で高精度な測定ができるフォトニック電界センサの特徴を生かした各種の計測システムを開発した。今回は，(1)LSI内部ノードを非接触で測定可能な非接触型プローバ，(2)プリント配線基板上の波形をグラウンド・フローティングで測定可能なサンプリング・オシロスコープ，について説明する。