MEMSなど超小型デバイスに関連する技術の展示会「第16回マイクロマシン展」が，2005年11月9日～11日に東京の科学技術館で開催された。各出展者は，微細加工技術を駆使したセンサなどを見せるだけにとどまらず，応用例の展示によって超小型デバイスがセンサ・ネットワークや燃料電池，高密度実装などで大きな効果を生み出すことを強調していた。

　センサ・ネットワークへの応用展開を見せて来場者の関心を集めていたのが，オムロンと立命館大学である。無線タグ技術を応用し，電池を内蔵する必要がないセンサ・モジュールを共同開発した。無線タグと，MEMS技術を使ったセンサを組み合わせる。電磁誘導によって外部から電力を供給することで，電池を不要にした。このためにセンサの消費電力の低減を図った。