設計ツールが標準化を促進

　MEMSプロセスの標準化は，さまざまな形で進んでいる。一つは，設計ツールの登場が促す。経済産業省主導で開発された設計ツールの「MemsOne」には，最終的なデバイス構造からマスク・セットとプロセス・フローを効率的に探し出す機能が備わっている（図5）。構造から製造・設計へとプロセスを逆に進める過程を半自動化した。例えば，ある構造を作るためのマスクとプロセスの候補をユーザーに提示して，ユーザーがその中から選ぶ。こうした作業を繰り返すことで，マスク・セットとプロセス・フローを作成する。この機能に関しては「まだ完成度は低い」（国内のMEMS研究者など）との指摘は少なくないが，それでも多くの技術者が利用することで，デバイスごとの製造プロセスの最適解が集約していく可能性がある。

図5●「MemsOne」はプロセスの標準化を促す
設計ツールの「MemsOne」の一機能である「逆解析機能」について示した。データベースからプロセスを半自動で見つけるため，手法が集約化しやすい。日経マイクロデバイスが作成。
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　また，MEMSファウンドリでもMEMSプロセスを標準化する動きがある。仏Tronics Microsystems SA.は，圧力センサーや加速度/角速度センサーなど，顧客からの依頼の多いデバイスについてプラットフォーム化を進めた（図6）。複数の顧客に対して，共通の製造プロセスでデバイスを製造できるようにしている。

図6●MEMSファウンドリ内でもプロセスを集約化
（a）仏Tronics Microsystems SAのプラットフォーム。（b）フィンランドNokia Corp.といった大手顧客向けには個別の開発もしている。Tronicsのデータ。
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　これらの動きは，業界標準にまで至らないかもしれない。しかし，一般に「1製品に1プロセス」といわれるMEMSデバイスにおいて，ある程度の標準化が可能なことを示している。