LPP方式を採用しながら、高い変換効率を強みにするのが、ギガフォトンである。変換効率を高めるプリパルス技術として、Cymer社はCO2レーザを用いるのに対し、ギガフォトンは波長1μm帯のYAGレーザを利用する。「YAGレーザの方が、プリパルスで生じたSn表面のプラズマを透過しやすく、より効率的にSn液滴を砕ける」(ギガフォトン 代表取締役 副社長 CTOの溝口計氏)という。
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