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ファウンドリから見たMEMS失敗事例(1)

三宅 常之=Tech-On!
2013/03/04 00:00
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出典:NIKKEI MICRODEVICES、2008年9月号 、pp.61-64 (記事は執筆時の情報に基づいており、現在では異なる場合があります)

 MEMSファウンドリを上手に活用できずに,想定以上の時間やコストを費やすことや,そもそも量産に至らないことがある。LSI の量産では,製造したチップを確実に動作させるためのEDA(electronic design automation)ツールが利用できる。このため,MEMSと比べると量産は比較的容易といえる。

 MEMS では,LSIよりも製造プロセスがファウンドリ間で技術的に大きく異なる。設計時には,これらの点を深く理解し,考慮する必要がある。事業化を成功させるためには,LSIとの違いを熟知した上で,開発チーム作りから慎重に進めなければならない。

 今回,MEMSファウンドリで20 年以上の経験を持つカナダMicralyne Inc.が,MEMSファウンドリを活用するデバイス・メーカーに見られた失敗事例を明らかにした。同社は,1998年に設立し,その前身であるMEMSの研究開発を行う非営利団体時代からMEMS生産で20年以上の経験を持つ。クラス10とクラス1000のクリーン・ルームを所有し,150mmウエーハでMEMSを量産してきた。工場には100人の技術スタッフを抱え,これとは別に40人の研究開発技術者が在籍している。同社は,MEMSファウンドリの中で高収益企業として知られ,売上高営業利益率は10%近くという。売上高もここ数年間,MEMSファウンドリ業界の伸び以上の成長を遂げてきた。

 以下は,MEMS関連の技術セミナー「MEMS International」で,同社CEOのChris Lumb氏が2008年5月に行った講演を基に,加筆,編集した内容である(MEMS関連の最新技術セミナーはこちら)。

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