われわれは,MEMSマイクの量産を2007年末に開始した。MEMSセンサー部の独自の構造と,パッケージング技術によって,信頼性と音響特性を高めている。MEMSマイクの開発には,1998年ごろより取り組んできた(図1)。製品化のための開発は,2007年にパートナとなったホシデンと共に進めている。われわれInfineonはMEMSチップと信号処理ASICチップの開発と量産を行う。
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