• BPnet
  • ビジネス
  • PC
  • IT
  • テクノロジー
  • 医療
  • 建設・不動産
  • TRENDY
  • WOMAN
  • ショッピング
  • 転職
  • ナショジオ
  • 日経電子版
電子部品 受動部品からモジュールまで電子部品の総合情報
 

CCDのソニーも裏面照射型でCMOSへ(後)

三宅 常之=Tech-On!
2012/09/20 00:00
1/6ページ
出典:日経マイクロデバイス、2009年9月号 、pp44-46 (記事は執筆時の情報に基づいており、現在では異なる場合があります)

配線が入射光の邪魔にならない構造に

 BSI型CMOSセンサーが高感度化できるのは,その構造による(図3)。一般にCMOSセンサーは,汎用CMOSの製造ラインを使えて低コスト化しやすい上,周辺回路を1チップ化しやすい。しかし,フォトセンサー(フォトダイオード)の上に通常3層形成するメタル配線が入射光の一部を遮り,感度を劣化させていた。

図3 配線層で入射光が遮断されない
CCD,既存のCMOS,BSI型CMOSの各センサーを比較した。BSI型は入射光を配線が遮ら ず高感度にできる。ソニーが作成した断面図を使い,本誌が作成。
[画像のクリックで拡大表示]

 一方CCDセンサーは,フォトセンサー上のメタル配線が1層に過ぎず,入射光がCMOSセンサーほどは遮られない。この結果,CCDセンサーの感度はCMOSセンサーに対して2倍ほど高かった。結婚式でのキャンドルや夜景も撮影するビデオ・カメラでは,この感度の違いからCCDセンサーが市場において有利な状況が20年以上続いてきた (別掲記事を参照)。

 これに対してBSI型CMOSセンサーは,フォトセンサーの上部にメタル配線層が全くない構造である。具体的には,フォトセンサーの下側(裏面)から光を取り入れるようにしている。一般にCMOSセンサーはフォトセンサーの形成後に配線を形成することから,フォトセンサーの上側(表面)にメタル配線層ができてしまう。そこでBSI型ではフォトセンサーを形成したSi基板を薄くして,配線側ではなくこの薄いSi基板を透かして光をフォトセンサーに導くようにした。Si基板は,赤外光に対してほぼ透明であり,薄くすると短波長に対しても透明に近くなる。数μm厚にすることで可視光に対してもほとんど透明にする。

ここから先は日経テクノロジーオンライン会員の方のみ、お読みいただけます。
・会員登録済みの方は、左下の「ログイン」ボタンをクリックしてログイン完了後にご参照ください。
・会員登録がお済みでない方は、右下の会員登録ボタンをクリックして、会員登録を完了させてからご参照ください。会員登録は無料です。

【技術者塾】(2/23開催)
シグナル/パワーインテグリティーとEMC

〜高周波・低電圧設計に向けたノイズの課題と対策〜


本講座では、設計事例を基に、ノイズ対策がなぜ必要なのかを分かりやすく解説します。その上で、シグナルインテグリティー(SI)、パワーインテグリティー(PI)、EMCの基礎知識ならびにそれらがノイズ課題の解決にどのように関係しているかを、これまでの知見や経験に基づいた具体例を踏まえつつ解説を行います。 詳細は、こちら
日程 : 2016年2月23日
会場 : 化学会館
主催 : 日経エレクトロニクス
印刷用ページ

マイページ

マイページのご利用には日経テクノロジーオンラインの会員登録が必要です。

マイページでは記事のクリッピング(ブックマーク)、登録したキーワードを含む新着記事の表示(Myキーワード)、登録した連載の新着記事表示(連載ウォッチ)が利用できます。

協力メディア&
関連サイト

  • 日経エレクトロニクス
  • 日経ものづくり
  • 日経Automotive
  • 日経デジタルヘルス
  • メガソーラービジネス
  • 明日をつむぐテクノロジー
  • 新・公民連携最前線
  • 技術者塾
  • スポーツイノベイターズオンライン

Follow Us

  • Facebook
  • Twitter
  • RSS

お薦めトピック

日経テクノロジーオンラインSpecial

記事ランキング