半導体製造 プロセス技術や工場の動向を知るための
 

カーボン・ナノチューブとグラフェン,突き抜けた物性をデバイス開発に生かす

大下 淳一=日経マイクロデバイス
2009/10/26 00:00
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 ここ2~3年,電子デバイス関連の国際学会で,かつては見られなかった光景 を目にするようになった。“カーボン・ナノチューブ(carbon nanotube)”や“グラフェン(graphene)”をテーマにしたセッションに,会場からあふれんばかりのデバイス技術者が集まった様子である。これらの材料が注目を集めているのは,電子デバイスの素材としてずば抜けたポテンシャルを備えているためだ。実際にこれらの材料で高性能のデバイスを作製したり,実用化への技術課題を克服する成果が,相次いでいる。

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