0.5Vで駆動するLSI。半導体技術者の“夢”といえるこの技術を,いよいよ現実のものとすべき時が来た。「0.5V駆動LSI」は今後,消費電力の増大による微細化の破綻を克服するために避けられない命題となる。さらに,既存製品の競争力の強化や新たなアプリケーションの創出にも欠かせない。しかし,LSIの駆動電圧は90nm世代以降に1V付近で下げ止まり,低電圧化は休止状態にあった。この状態を打破するために,デバイス,回路,製造のあらゆる技術を駆使して,技術課題を克服する必要がある。