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　村田製作所は、2014年4月9～11日に東京ビッグサイトで開催している「MEDTEC Japan 2014」において、人の行動や移動といった状態を検知する活動モニタリングシステムなどの用途に向けたMEMS気圧センサーを展示した。消費電流が低いことをウリにする。

　低消費電流を実現したのは、「MEMS気圧センサーとして一般的なピエゾ方式ではなく、静電容量方式を採用したため」（村田製作所）と説明する。気圧の変化によって生じるセンサー内の静電容量の変化を検出する方式である。同社が2012年1月に買収したMurata Electronics社の技術を活用した。

　消費電流は、変換時間が1/12秒の場合は4.1μA、同1秒の場合は42μA。「ピエゾ方式のMEMS気圧センサーに比べて1/8～1/3と低い」（村田製作所）。温度変化によって気圧の検出データにドリフトが生じる、いわゆる温度ドリフト性能を高めたことも特徴だという。

　センサーの外形寸法は2.3mm×2.6mm×0.95mm。2014年秋ごろに量産出荷を始める予定である。