SiCパワー半導体関連の国際学会「ICSCRM 2013」（2013年9月29日～10月4日、宮崎県フェニックス・シーガイア・リゾート）の展示会場には、多くのSiC基板メーカーが6インチ（150mm）径ウエハー（以下、6インチ・ウエハー）を展示した。現行の3～4インチ（75mm～100mm）品の次世代を担うウエハーである。6インチ・ウエハーの供給ではこれまで米Cree社が先行してきたが、同社を追うSiC基板メーカー各社が2013年下期～2014年に相次ぎ本格投入する見通しだ。
基板品質の高さに定評がある新日鉄住金は目下、6インチ・ウエハーをサンプル出荷中であり、2014年に量産出荷を始める。ベアウエハー、および外部企業でエピタキシャル膜を成膜したエピタキシャル・ウエハー（以下、エピ・ウエハー）を供給する予定である。同社の4インチ（100mm）ウエハーの品質は「転位欠陥密度を含めて非常に良好な水準に達しており、6インチ・ウエハーでもそれに追いつこうと欠陥低減を進めている」（同社）。今後の6インチ・ウエハーの市場拡大をにらんで「エピ膜の成膜能力を自社内に持つかどうかについて、議論している」（同社）という。
なお、新日鉄住金の母体企業である旧 新日本製鉄と旧 住友金属のうち、旧 住友金属では溶液法によるSiC結晶の成長技術の開発を進めてきた。結果として新日鉄住金は現在、溶液法と（旧 新日本製鉄が開発してきた）昇華法の両方の開発を進めている（関連記事1）。
ローム傘下のドイツSiCrystal社は2013年末～2014年3月に6インチ・ウエハーの量産出荷を始める。同社はエピ・ウエハーは手掛けておらず「高品質のベア・ウエハーをいかに安く提供するかに集中している」（SiCrystal社の販売代理店）。開発したSiCウエハーの評価をロームがいち早く手掛ける体制をとっているため、「基板品質に関するフィードバックを早期に得やすく、品質向上に役立っている」（同）とする。
昭和電工はICSCRM 2013開催に合わせて、2013年9月30日に150mm径のエピ・ウエハーの量産技術を確立したと発表した（関連記事2）。同社は同ウエハーのサンプル出荷を2013年初から進めてきたが、2013年10月からは製品として出荷する。当面はn型のエピ・ウエハーを供給するが、2015年ごろにはp型のエピ・ウエハーも供給する計画という。
