米Intel社が業界に先駈けて2012年にフィンFETを量産化したことを契機に、CMOSトランジスタはいよいよプレーナ(平面)構造から立体チャネルの時代へ移行した。そのことを裏打ちするかのように、「2013 Symposium on VLSI Technology」(2013年6月11~13日、京都市)では、招待講演を除く全71件中20件がフィンFETおよびナノワイヤFETに関する発表だった。今回は、フィンFETのスケーラビリティへの期待を膨らませる新しい材料やプロセス技術の発表が相次いだ。

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