TRANSDUCERS 2013

【TRANSDUCERS続報】TSVを安く、貫通孔にワイヤ通す

東北大学・田中教授がMEMSセンサなどを解説（2）

【TRANSDUCERS続報】600℃で使うセンサの信号はどう読み出すか

東北大学・田中教授がMEMSセンサなどを解説（1）

　2013年6月に開催のセンサ／アクチュエータに関する国際学会「TRANSDUCERS（The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems）2013」の発表から、将来の産業界に影響を…

【TRANSDUCERS】大脳皮質から無電源・無線で脳波測定、ドイツ大学が試作

　ドイツUniversity of Bremenは、無電源かつ無線で、大脳皮質から脳波を取り出すECoG（electrocortical）電極を開発中である（論文番号：M3P.068）。将来のBMI（brain machine interface）用電極の実現を目指しており、頭蓋骨内に長期にわたって…

【TRANSDUCERS】MEMSディスプレイ、テレビ以外の応用に可能性

　ジャイロの次に「来る」MEMSの1つに、ディスプレイ用光スキャナがあります。実際、多くの企業がこの技術に取り組んでいます。「TRANSDUCERS 2013」では、トルコのKoҫ大学のUrey先生が、MEMS光スキャナを用いたレーザー・ディスプレイに関する紹介講演をされました（論文番号：W4D.0…

【TRANSDUCERS】ジャイロのケタ違いの高性能化、設計力で実現する手法の発表相次ぐ

　MEMSセンサのトレンドの1つは、既に紹介したように、小形化・低コスト化です。もう1つのトレンドは高性能化です。1990年頃にランダムウォークにして100 °/√h程度であったMEMSジャイロの性能は、0.1 °/√h程度までよくなっています（図1）。20年の間に1000倍よくなったことになります…

【TRANSDUCERS】Auナノ粒子埋め込みTSVやALDなど実装技術が発表

　「TRANSDUCER 2013」では“Packaging & Technology”セッションがありました。前回の報告のように、単なるウエハー・レベル・パッケージングではなく、ウエハー・レベル集積化と同時に行うパッケージングは、これからのMEMSのトレンドです。ここでは、金属-金属接合、TSV（…

【TRANSDUCERS】鶏に付けて鳥インフルか見分けるセンサ、産総研など開発

　産業技術総合研究所と東京大学は、養鶏事業者向けに、鶏が鳥インフルエンザにかかっているかどうかを見分ける無線センサ・システムを開発した（論文番号：MSP.003）。

【TRANSDUCERS】地中の養分濃度を測定するセンサ、豊橋技科大など開発

　豊橋技術科学大学、愛知県農業総合試験場、科学技術振興機構は、農業従事者向けに、地中の養分濃度（NやPのイオン濃度）をリアルタイムで測定できるセンサを開発した（論文番号：MSP.025）。センサ部は、半導体チップで構成しており大きさは5mm角。幅8mm、長さ30cmのプリント基板に実装しており、地中…

【TRANSDUCERS】「Epi Seal」技術による加速度センサの2件の発表、米Stanford大から

　米Stanford　UniversityのKenny先生はドイツRobert Bosch社と共同で、最近、米SiTime社のSiタイミング・レゾネータに用いられている“Epi Seal”技術を様々なデバイスに適用しています。「IEEE MEMS2013」の速報では同技術を用いた圧力センサやジャイロ…

【TRANSDUCERS】「0.02米ドル／軸になると1兆個のセンサが使われる」

　隔年開催のマイクロセンサ・アクチュエータに関する国際会議「TRANSDUCERS 2013」がスペイン・バルセロナで始まりました。

【TRANSDUCERS】1200人超の参加でバルセロナにて開催

　センサやアクチュエータに関する国際学会「The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems（TRANSDUCERS 2013）」が、2013年6月16日、スペイン・バルセロナで始ま…