【MEMS2013続報】非冷却型赤外線センサ、検知部の極薄化で高感度に

 製造プロセスを順に示した。最終段階では、XeF2による犠牲層エッチングで空洞化する。
製造プロセスを順に示した。最終段階では、XeF2による犠牲層エッチングで空洞化する。

カーソルキー(←/→)でも操作できます