日経テクノロジーオンライン

【ナノテク展】フラーレンを用いたEUV露光向けレジスト材、フロンティアカーボンが出展

2013/01/31 20:57
大下 淳一=日経エレクトロニクス
 フラーレン(C60)の製造・販売を手掛けるフロンティアカーボンは、フラーレン・ベースのEUV(extreme ultraviolet)露光用レジスト材を「nano tech 2013(第12回 国際ナノテクノロジー総合展)」(東京ビッグサイト)に出展した。熱安定性や解像度の高さを売りにしており、レジスト・メーカーに提案中という。

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