450mmウエハー・ラインに向けた装置・材料技術の存在意義がグラついている。半導体デバイスの製造において、ウエハーの大口径化は、生産性を向上させるうえでの正常進化とも言える技術開発項目だ。だが450mmウエハー対応技術は、開発の当初からその意義を疑う声があった。装置の開発の難しさと、実現までに費やす莫大な開発費、そして対応ラインを構築する半導体メーカーの数が限定されることから、装置メーカーが、開発費を回収できないリスクが指摘されていたのだ。

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