デバイス装置市場を歩く 和田木レポート

微細化の壁を越えて

～high-k/メタルゲートとFinFET～

　前回の半導体製造装置の記事では、微細化の限界が従来以上に重たく半導体にのしかかり、業界の技術開発動向にも大きな影響を与えている点について説明した。業界が向かう七つの方向について、今回は微細化実現のための高誘電率ゲート絶縁膜/メタルゲート（high-k/metal gate：HKMG）やFinFET…

期待膨らむ「緑の贈与」

　今回は久しぶりに再生可能エネルギーを話題にしたい。喜ばしいことに、昨年の今頃とは一変して元気になりつつある日本経済とハイテク業界だが、その流れをさらに加速するために導入が期待される施策の一つが「緑の贈与」である。

変質するメモリ・サイクル（続編）

　半導体製造装置メーカーにとって、微細化の終焉は成長の終わりを示唆するものである。これは、液晶製造装置業界の歴史を見ると分かりやすい。液晶製造装置市場は従来、「技術革新の要素に乏しいので、1990年末には飽和する」といわれていた。ところが実際は2000年代に入っても大きな成長を続けた。

東京エレクトロンとAMATの経営統合を読み解く

　2013年9月24日、東京エレクトロンと米Applied Materials社（AMAT）は、早ければ2014年の後半にも経営統合することで合意したと発表した（関連記事）。2012年の半導体製造装置市場の世界シェアは、AMATが14％で1位、東京エレクトロンが11％で3位。両社対等の合併により、新…

変質するメモリ・サイクル

　目下、半導体製造装置市場は回復局面にあり、製造装置の受注は足元ではやや一服感が出ているが、前工程を中心に持ち直しつつある。これまで、シリコン・サイクルと呼ばれる好不況を繰り返してきた半導体製造装置業界だが、我々は、今回のサイクルは、これまでとは様相が大きく異なるものになると予想している。