以下の文章内の空欄(1)、(2)、(3)、(4)に当てはまる語句を示せ。

< 文章 >

LSI 内部の電源配線は、アルミあるいは銅などの金属によって配線されており、無視できない【(1)】があります。この【(1)】によって内部電源の【(2)】が低下してしまう問題をIRドロップと呼んでいます。
 
近年、プロセスの微細化により駆動【(2)】が低くなっており、許容される【(2)】幅が小さく、IRドロップによる誤動作が起きやすくなります。
 
IRドロップの対策としては、配線の【(1)】を低くするため、電源配線をより多く、より太くすることと、外部端子当たりの【(3)】量を減らすために【(4)】を増やすなどが考えられます。


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