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ウエハー検査装置の製造現場を見学,“世界No.1”を作る技術者の気概に触れる

2010/09/17 12:00
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学生記者の雨宮さん(左)と天沼さん(右)
学生記者の雨宮さん(左)と天沼さん(右)

 理系学生に半導体製造装置メーカーを取材してもらい,半導体製造装置業界の実態と魅力をレポートしてもらう今回の企画。第1回の東京エレクトロン,第2回の荏原製作所に続き,最後の取材先となる日立ハイテクノロジーズを訪問した。

 今回取材する日立ハイテクは,東京エレクトロンのエッチング装置や荏原製作所のCMP(Chemical Mechanical Polishing:化学的機械的研磨)装置を使って処理したシリコン(Si)ウエハーの仕上がりを確認するウエハー検査装置のメーカーである。ウエハー検査装置は,エッチング装置やCMP装置のようにウエハーを加工しない。このため,一般的に地味な印象のある半導体製造装置の中でも,さらに日陰の存在のように見える。

日立ハイテクノロジーズの会社概要と那珂事業所の事業所紹介
日立ハイテクノロジーズの会社概要と那珂事業所の事業所紹介

 しかし,半導体工場では1カ月に何百万個や何千万個というICチップを製造する。このため,一旦不良が出始めるとあっという間に,膨大な不良品の山を築いてしまう。普段は不良を発生させないように目を光らせ,そして不良が発生したらその原因を早期に突き止めて一刻も早く不良をなくすことが,ウエハー処理作業そのものより大切になる場面もある。この意味で,ウエハー検査装置は半導体工場にとってはなくてはならない装置と言える。

 今回参加してくれた学生記者は,雨宮美沙さん(上智大学電気電子工学科4年)と天沼智彦さん(早稲田大学創造理工学部総合機械工学科3年)。特に雨宮さんは世界に名だたる“日立”グループ企業への訪問ということで,大きな期待を寄せていたようだ。昼に上野駅から「スーパーひたち23号」に乗車して1時間強で勝田駅へ。ここからタクシーに乗り,ひたちなか市に集まる日立グループの工場・研究所を通り抜け,目指す日立ハイテクノロジーズ那珂事業所に到着した。

デモ・ルームの前で熱心に質疑応答
デモ・ルームの前で熱心に質疑応答

 到着すると,まずは会議室で日立ハイテクの会社概要と那珂事業所の事業所紹介について,同社総務部人事勤労グループ主任の松原祐光氏から説明を受ける。続いて,学生記者のインタビューに答えてくれる石島達晃さんと大南祐介さん(いずれも電子線応用システム設計部技師)が登場,本題のウエハー検査装置について取材が始まる。取材は,ウエハー検査装置に関係する各種エリアを見学しながら,石島さんと大南さんから説明を受けたり質問をしたりする形で進んだ。

 見学したのは,ウエハー検査装置に使われる各種部品を試作・製造するエリア,それら部品を使ってウエハー検査装置全体を組み立てるクリーン・ルーム,さらにはウエハー検査装置を使って検査を実施するデモ・ルームなどである。特にデモ・ルームは,顧客である半導体メーカーから預かったウエハーもあるために機密事項も多い。さすがにデモ・ルームの中に入ることはできなかったが,ガラス張りの通路を隔てて向こう側では,技術者が真剣な様子でウエハー検査を実施している様子が見て取れた。その様子に触発されたかのように雨宮さんや天沼さんは熱心に質問し,ウエハー検査装置への理解を深めようとしていた。

会議室に戻っての質疑応答(中央奥が石島さん,右手前が大南さん)
会議室に戻っての質疑応答(中央奥が石島さん,右手前が大南さん)

 再び会議室に戻って質疑応答。学生記者の興味は多岐に渡り,最初はウエハー検査装置そのものや検査装置業界に関する質問が中心だったが,次第にこの業界へ就職した石島さんや大南さんのやりがいや仕事に対する面白み,企業はどのような人材を求めているのか,といった近い将来に就職を控えた学生ならではのものに広がっていった。結局,当初予定の2時間を1時間以上も延長していただき,懇切丁寧に質問に答えていただいた。

 次ページ以降では,今回の見学取材をした学生記者2人のレポートを掲載する。

次ページで雨宮さんのレポートを紹介

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