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セミコン・ジャパン 2006 スペシャル･レポート

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セミコン・ジャパン 2006 ニュース

セミコン・ジャパン 2006 プレビュー

2007年を読む●技術動向

露光
NA1.3以上の液浸露光装置が登場，「EUV元年」に向け，光源出力に着目
マスク
高NA時代に対応，DFM技術の重要性増す
トランジスタ
ひずみSi技術で高性能化，SRAMの動作不良対策で3次元構造へ
配線
ポーラスlow-kの課題を解決，45nmでの選択技術が明確化
洗浄
枚葉スピン洗浄で歩留まり向上，材料ロス，構造ダメージ，ウォータマーク抑止
検査
DUV検査の導入が本格化，各種計測技術のミックス＆マッチ運用へ
DFM
統計的手法が加速，設計現場でコストを考慮
パッケージ
電子機器の進化支えるSiP，四つのコア技術で進展
テスト
SoC設計からテストへのTATを短縮，オープン化の実現が急務に
（「セミコン・ジャパン2006 NAVIGATOR」から抜粋）

「セミコン・ジャパン2006」特別インタビュー

半導体ほど大規模で成長し続ける産業はない

東京エレクトロン 代表取締役会長
東 哲郎 氏

世界最大級のショーに発展
今後は新技術の披露に重点を

SEMI役員 ウルトラテック・ジャパン会長
野宮 紘靖 氏

30周年の節目を迎え
出展規模は過去最高

セミコン・ジャパン 2006 諮問委員長 　 ディスコ 常務取締役 経営企画本部長
関家 圭三 氏

海外展開で先行，ロジック・テスター急伸

アドバンテスト 代表取締役 執行役員社長
丸山 利雄 氏

装置開発はまず日本の半導体メーカーと

ニコン 常務取締役 兼 上席執行役員 精機カンパニープレジデント
牛田 一雄 氏

液浸の戦略製品で巻き返し狙う

キヤノンマーケティングジャパン 専務取締役 産業機器カンパニー プレジデント
渋谷 博也 氏

半導体業界の外にもメッセージを

SEMIジャパン 代表
熊谷 多賀史 氏

（「NIKKEI MICRODEVICES」30周年特別編集版，「セミコン・ジャパン2006 NAVIGATOR」から抜粋）

セミナーの見どころ

展示会

半導体産業の発展とともに迎える30周年
最大規模で「セミコン・ジャパン 2006」が開催

　半導体製造装置・材料の国際展示会「セミコン・ジャパン」は2006年，いよいよ第30回という記念すべき節目を迎える。1977年に157社，153小間でスタートしたセミコン・ジャパンは，半導体産業の発展とともに規模を拡大し，今回，小間数ではセミコン・ジャパン史上最高だった2000年の4394小間を大きく上回る約4500小間の展示規模で開催される。（続きを読む）

シンポジウム

「SEMIテクノロジーシンポジウム（STS）」が25周年
基調講演は「日本半導体再生への提言」

　2006年12月6日，今日は待ちに待った「SEMIテクノロジーシンポジウム（STS）」の初日である。小走りに急ぐ若者に，新入社員の記者が聞く。「STSの見どころを教えていただけますか？」。「何言ってんですか，見どころって。STSは‘七つのセッション’が3日間，同時開催なんです。本当は全部見たい，聞きたい。展示会も見たいし」。若者が見せたSTSの案内には，その日に回るセッションが細かく記されていた。同じようにSTSの見どころを知りたいと思われている皆様に「これがSTSだ！」という紹介をしよう。 （続きを読む）

（「セミコン・ジャパン2006 NAVIGATOR」から抜粋）

2007年を読む●市場動向　

2007年の半導体業界の展望，
設備投資は前年比5％増で高水準

　われわれは，2007年の半導体市場の伸びを2006年の7％を上回る15％前後と予想している。最大のポイントはメモリーの需給動向にあると考えられるが，われわれは，DRAM，NAND型フラッシュ・メモリーともに2007年もある程度の好調が持続すると考えている（図1，図2）。米国景気は，過去2〜3年に比べて厳しさを増しており，減速リスクはあるが，ハイテク関連の最終製品の数量増は米国以外の貢献が多く，米国景気に神経質になりすぎるのは逆に危険だろう。（続きを読む）


（「セミコン・ジャパン2006 NAVIGATOR」から抜粋）